1 简介

真(zhen)空泵是一(yi)种旋(xuan)转式(shi)变容真(zhen)空泵须有前(qian)级泵配合(he)方可使(shi)用(yong)在较宽的(de)压力范(fan)围(wei)内有较大的(de)抽速对被(bei)抽除气体中含有灰尘(chen)和水蒸汽不敏(min)感广泛用(yong)于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。[1]

2 特点

(1)在较宽的压力范(fan)围内有较大的抽速(su)；

(2)转子具有良(liang)好的几何(he)对(dui)称性，故振动小，运转平稳。转子间及(ji)转子和壳体间均有间隙，不用润滑(hua)，摩(mo)擦(ca)损(sun)失小，可大大降低(di)驱动功率，从而可实(shi)现较高转速(su)；

(3)泵(beng)腔内(nei)无需用油密(mi)封和润滑，可减少油蒸气对真(zhen)空系统的污染；

(4)泵腔内无压缩，无排(pai)气阀(fa)。结构简(jian)单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不(bu)敏(min)感；

(5)压缩比(bi)较(jiao)低，对氢气抽气效果差(cha)；

(6)转子(zi)表面为形状(zhuang)较为复(fu)杂的曲线柱面，加(jia)工和检(jian)查比较困难。

3 结构

（1） 泵总体(ti)结构型式

真(zhen)空泵的泵体(ti)的布置(zhi)结构(gou)决定了泵的总体(ti)结构(gou)。

立式(shi)结构的(de)进、排气口水(shui)平设置，装(zhuang)配和(he)连接管路都比较(jiao)方便。但(dan)泵的(de)重心较(jiao)高，在(zai)高速运转时稳定性差，故(gu)这(zhei)种型式(shi)多用于小泵。

卧(wo)式泵的(de)进(jin)气口(kou)在上，排气口(kou)在下。有时(shi)为了真空系统管(guan)道安装(zhuang)连接(jie)方(fang)便，可(ke)将排气口(kou)从水平方(fang)向接(jie)出(chu)，即进(jin)、排气方(fang)向是(shi)相互(hu)垂(chui)直(zhi)的(de)。此时(shi)，排气口(kou)可(ke)以从左或右两(liang)个(ge)方(fang)向开口(kou)，除接(jie)排气管(guan)道一端外，另一端堵死或接(jie)旁通阀。这(zhei)种(zhong)泵结构重心低，高速运转时(shi)稳定性(xing)好。一般大(da)、中型泵多采用此种(zhong)结构。

泵的两(liang)个(ge)转(zhuan)子轴与(yu)水平面垂直安装(zhuang)。这种结构(gou)装(zhuang)配(pei)间隙容易控制(zhi)，转(zhuan)子装(zhuang)配(pei)方便，泵占地面积小。但泵重心(xin)较高且齿(chi)轮拆装(zhuang)不便，润(run)滑机(ji)构(gou)也相对复杂。

（2） 泵(beng)的传(chuan)动方(fang)式

真(zhen)空泵的(de)两(liang)(liang)个转(zhuan)子(zi)是通过一(yi)对高精度齿(chi)轮(lun)来实现(xian)其(qi)相对同步运(yun)转(zhuan)的(de)。主(zhu)动(dong)轴(zhou)(zhou)通过联轴(zhou)(zhou)器(qi)与(yu)电(dian)(dian)机(ji)联接。在(zai)传动(dong)结构(gou)布(bu)置上主(zhu)要有(you)以下两(liang)(liang)种(zhong)：其(qi)一(yi)是电(dian)(dian)动(dong)机(ji)与(yu)齿(chi)轮(lun)放在(zai)转(zhuan)子(zi)的(de)同一(yi)侧如图。从动(dong)转(zhuan)子(zi)由电(dian)(dian)动(dong)机(ji)端齿(chi)轮(lun)直接传过去带动(dong)，这样(yang)主(zhu)动(dong)转(zhuan)子(zi)轴(zhou)(zhou)的(de)扭转(zhuan)变(bian)形小，则两(liang)(liang)个转(zhuan)子(zi)之间的(de)间隙(xi)不会(hui)因主(zhu)动(dong)轴(zhou)(zhou)的(de)扭转(zhuan)变(bian)形大而改(gai)变(bian)，故(gu)使(shi)转(zhuan)子(zi)之间的(de)间隙(xi)在(zai)运(yun)转(zhuan)过程中均匀。这种(zhong)传动(dong)方(fang)式的(de)最大缺点是：a.主(zhu)动(dong)轴(zhou)(zhou)上有(you)三个轴(zhou)(zhou)承，增加了泵的(de)加工和装配(pei)难度，齿(chi)轮(lun)的(de)拆(chai)装及(ji)调整也不便；b.整体结构(gou)不匀称，泵的(de)重心(xin)偏向电(dian)(dian)动(dong)机(ji)和齿(chi)轮(lun)箱一(yi)侧。

    极限(xian)(xian)(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)”是真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)(de)一(yi)个(ge)重要参数，是反应泵(beng)抽(chou)气能力的(de)(de)(de)特(te)性(xing)值(zhi)，是与真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)相(xiang)关(guan)的(de)(de)(de)一(yi)个(ge)数值(zhi)，不(bu)同(tong)的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)可(ke)以(yi)有不(bu)同(tong)的(de)(de)(de)“极限(xian)(xian)(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)”度。而“理论(lun)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)”是理论(lun)研究时(shi)的(de)(de)(de)一(yi)个(ge)概念(nian)，是排除(chu)各种(zhong)实际因(yin)素(su)的(de)(de)(de)影(ying)响而提炼出(chu)的(de)(de)(de)一(yi)种(zhong)最理想的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)状态。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)容器经充分抽(chou)气后，稳定(ding)在某一(yi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度，此真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度称(cheng)为(wei)极限(xian)(xian)(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)。通常(chang)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)容器须经12小(xiao)时(shi)炼气，再经12小(xiao)时(shi)抽(chou)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)，最后一(yi)个(ge)小(xiao)时(shi)每隔10分钟测量一(yi)次(ci)，取其(qi)10次(ci)的(de)(de)(de)平均值(zhi)为(wei)极限(xian)(xian)(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)值(zhi)。